美實驗室開發新技術 讓EUV有望擺脫吃電怪獸臭名    (3)

美國知名的勞倫斯利佛摩國家實驗室（LLNL）正在研發一種拍瓦（千兆瓦）級的銩雷射（Thulium laser），據稱效率比目前用於極紫外

4天前 21:06 | 聯合新聞網 | 關鍵字: 技術   雷射   實驗室   極紫外   雷射技術   二氧化碳   財經   美國   領導   勞倫斯